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工业超纯水工程案例介绍

一、 项目背景

某电子厂配套纯水制备工程设备。

二、设计水量

本系统要求产品水量为 50m 3 /h ,因此设计产水量确定为 50 m 3 /h 。

系统采用两级反渗透装置的系统回收率为 75% ,故系统的设计进水水量为 66.7 m 3 /h 。

三、设计进水水质

本纯水系统的进水为当地深井水,其水质经当地环保部门进行了全水质分析,主要检测分析结果见水质报告。

四、目标水质

根据产品水的用途与要求,确定产品水的目标水质为:电阻率≥ 10M Ω· cm

五、处理工艺选择

电子用纯水不同于一般的纯水制备,它对水质具有更为严格的规定,属于高纯水范畴。一般来说,高纯水制备主要包括预脱盐与精处理脱盐两大部分,如何进行工艺的选择和组合成为高纯水制备的关键。

典型工艺流程

( 水质符合美国 ASTM 标准,电子部超纯水水质标准( 18M Ω· cm , 15M Ω· cm , 2M Ω· cm 和 0.5M Ω· cm 四级)

预处理-反渗透- 水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象

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